切趾平面波导光栅的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02817961.7
IPC分类号：G02B6/34
申请日期：
2002-08-29
申请人：
纳幕尔杜邦公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	切趾平面波导光栅的方法
申请号	CN02817961.7	申请日期	2002-08-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-12-15	公开/公告号	CN1555503
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/34 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/22 （转入G02B 6/036） G02B6/24 光波导的耦合（电波导的耦合入H01P 1/00）〔4，5〕 G02B6/26 光耦合装置（G02B 6/36，G02B 6/42优先）〔4〕 G02B6/34 利用棱镜或光栅〔4〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;3;4查看分类表>
申请人	纳幕尔杜邦公司	申请人地址	美国特拉华州威尔明顿变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	纳幕尔杜邦公司	当前权利人	纳幕尔杜邦公司
发明人	L·埃尔达达
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	王景朝;杨九昌

摘要

本发明提供一种用于在光敏性平面线性波导中制造切趾布喇格光栅的方法。在基片(2)的表面上设置光敏性平面线性波导(4)。带有图案的相位掩模(6)设置在波导与激光束(8)之间。波导通过相位掩模曝光于激光束，其中激光束以基本恒定的速度相对基片和相位掩模移动，或者基片和相位掩模以基本恒定的速度相对激光束移动。光束具有平滑改变的强度分布，在足以引起波导折射率改变，并在波导中附加与相位掩模图案相应的切趾布喇格光栅的条件下，以相对纵轴大于0且小于90(度)的角度执行曝光。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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