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一种PIN型室温核辐射探测器及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810019832.2
  • IPC分类号:H01L31/117;H01L31/18
  • 申请日期:
    2008-03-18
  • 申请人:
    苏州纳米技术与纳米仿生研究所
著录项信息
专利名称一种PIN型室温核辐射探测器及其制备方法
申请号CN200810019832.2申请日期2008-03-18
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-08-13公开/公告号CN101241947
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/117IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;1;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请人地址
江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所当前权利人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
发明人陆敏
代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司代理人陶海锋
摘要
本发明公开了一种PIN型室温核辐射探测器,包括GaN衬底、n型掺杂层、p型掺杂层和两个接触电极,其特征在于:所述GaN衬底为厚膜结构,其厚度为100um~200um,所述n型掺杂层为掺杂硅的GaN薄膜,制作在所述GaN衬底的一面,所述p型掺杂层为掺杂镁的GaN薄膜,制作在GaN衬底的另一面,两个接触电极分别制作在n型掺杂层和p型掺杂层的外表面。本发明的室温核辐射探测器具有良好的室温灵敏度、探测效率和稳定性,更适用于强辐射场的探测领域;同时,本发明的制造工艺简单,成本低廉,适于工业化推广。

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