扫描头及可用该扫描头的外观检查方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN01111104.6
IPC分类号：G01N21/956;G01B11/24;G02B26/10
申请日期：
2001-02-27
申请人：
株式会社先机

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著录项信息

专利名称	扫描头及可用该扫描头的外观检查方法和装置
申请号	CN01111104.6	申请日期	2001-02-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-02-27	公开/公告号	CN1337576
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/956 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/956 检测物品表面上的图案〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;2;B;2;6;/;1;0查看分类表>
申请人	株式会社先机	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社先机	当前权利人	株式会社先机
发明人	秋山吉宏;岩野行雄
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	沈昭坤

摘要

在检查印刷电路板等的行传感型外观检查装置中要求改善检查精度和缩短测试时间这两相互对立的指标。为此，外观检查装置的测试单元(14)具有扫描头。扫描头具有照明单元(30)和行传感器(34)。照明单元(30)具有落射照明源(100)和侧方照明源(102)。落射照明源(100)与被查体之间设有对齐落射光用的透镜状片(106)。进行侧方测试时，落射照明源(100)内除中央部分以外的区域也照明，对侧方光产生辅助光。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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