腐蚀多孔硅用的腐蚀液以及、使用该腐蚀液的腐蚀方法

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专利名称	腐蚀多孔硅用的腐蚀液以及、使用该腐蚀液的腐蚀方法
申请号	CN92101589.5	申请日期	1992-02-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1992-12-02	公开/公告号	CN1066748
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	坂口清文;米原隆夫;左藤信彦
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	付康

摘要

本发明涉及多孔硅腐蚀液和使用该腐蚀液选择性腐蚀多孔硅的方法。该腐蚀液包括一由氢氟酸和醇及双氧水中至少一种组成的溶液，或一由缓冲氢氟酸和至少醇及双氧水中的一种组成的溶液，其优点在于，使用本发明的腐蚀液及腐蚀方法不给半导体工艺带来不良影响、不腐蚀非多孔硅、并能高效率、均匀地对多孔硅进行化学腐蚀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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