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自供能微型振动传感器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510020426.4
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2005-02-26
  • 申请人:
    重庆大学
著录项信息
专利名称自供能微型振动传感器
申请号CN200510020426.4申请日期2005-02-26
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2005-08-10公开/公告号CN1651876
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人重庆大学申请人地址
重庆市沙坪坝区沙正街174号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人重庆大学当前权利人重庆大学
发明人温中泉;温志渝
代理机构重庆华科专利事务所代理人康海燕
摘要
本发明涉及一种微型自供能振动传感器,主要包括MEMS可变电容器、驻极体和处理电路。其中,MEMS可变电容器由一个动极板和两个定极板所构成。动极板由悬臂梁、质量块以及在质量块两侧形成的两组叉指组成。定极板上各有一组叉指。动极板两组叉指分别与两个定极板上的叉指分别相对,形成两个可变电容。两个定极板上分别设有引出电极,动极板上设有动极板引出电极。上述电极经线路连接处理电路。本发明是一种高集成度、长寿命、体积小、无需外部供电、不受声压影响的微型自供能振动传感器,可以应用于电动车、摩托车、汽车等车辆防盗报警的装置相配套使用的振动传感装置以及其他振动检测领域,具有极为广泛的用途。

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