真空处理装置、静电卡盘的诊断方法及存储介质

发明专利无效专利

申请号：
CN200710140389.X
IPC分类号：H01L21/00;H01L21/67
申请日期：
2007-08-10
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	真空处理装置、静电卡盘的诊断方法及存储介质
申请号	CN200710140389.X	申请日期	2007-08-10
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2008-02-13	公开/公告号	CN101123174
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	古屋敦城;里吉务
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

本发明提供了一种真空处理装置，其在对基板执行真空处理时，在开始使用静电卡盘前，能够诊断电介质层的绝缘状态。在吸附保持玻璃基板(G)等的喷涂型的静电卡盘(22)中，高压电源(67)向静电卡盘(22)的卡盘电极(24)施加比吸附保持玻璃基板(G)的情况低的直流电压即诊断电压，各测量器(70、71)取得各测量位置的电气特性(电压和电流)的测量数据。于是，作为诊断部的控制部(80)，将上述电气特性的测量数据分别与预先针对电气特性规定的设定数据(阈值)相比，诊断该静电卡盘(22)是否出于可以使用的状态。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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