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定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201110364214.3
IPC分类号：C30B29/06;C30B11/14;H01L31/18
申请日期：
2011-11-16
申请人：
浙江碧晶科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统
申请号	CN201110364214.3	申请日期	2011-11-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-03-28	公开/公告号	CN102392301A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;1;1;/;1;4;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	浙江碧晶科技有限公司	申请人地址	浙江省绍兴市上虞区经济开发区东山路15号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江龙柏光伏科技有限公司	当前权利人	浙江龙柏光伏科技有限公司
发明人	李乔;马远;王明德;周晓峰
代理机构	杭州天勤知识产权代理有限公司	代理人	胡红娟

摘要

本发明公开了一种定向凝固法中籽晶熔化状态判断方法以及引晶控制系统，通过在坩埚底部放置测温探头，并通过计算升温速率的来判断籽晶是否处于半熔化的状态，从而实现了定向凝固法生长硅晶体中的引晶控制，有利于增加硅锭的生产率，提高类单晶硅生长的成功率，提高硅晶体的品质。

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