无尘室系统

发明专利有效专利

申请号：
CN200910137881.0
IPC分类号：F24F3/16;H01L21/00
申请日期：
2009-05-06
申请人：
友达光电股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	无尘室系统
申请号	CN200910137881.0	申请日期	2009-05-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-10-07	公开/公告号	CN101551144
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F24F3/16 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F24 供热；炉灶；通风 F24F 空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用（从尘、烟产生区消除尘、烟入B08B 15/00；从建筑物中排除废气的竖向管道入E04F17/02；，烟道末端入F23L17/02） F24F3/00 从一个或多个集中式空调站向可以得到二次处理的房间或场所内的分配装置供给经过处理的一次空气的空气调节系统；专门为这种系统设计的设备（室内装置入F24F1/00）〔1，2006.01〕 F24F3/12 以加热和冷却除外的其他方式处理空气为特征的 F24F3/16 净化处理，例如过滤处理；消毒处理；臭氧化处理	IPC分类号	F;2;4;F;3;/;1;6;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	友达光电股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	友达光电股份有限公司	当前权利人	友达光电股份有限公司
发明人	林高平;陈福源;赵育舜;张振彰
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	陈小雯

摘要

本发明公开一种无尘室系统，具有一作业空间、一回风室、一收集室及一过滤室。其中，回风室可配置于作业空间的一侧，而该侧可为作业空间的一边界，并与作业空间形成连通的状态，而作业空间具有一第一气体压力，回风室也具有一第二气体压力，且第一气体压力大于第二气体压力。当配置于作业空间中的一移动机台于作业空间中往复来回移动时，将使作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于作业空间的边界，而使无尘室系统内的气体自作业空间向回风室流动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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