加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

圆片的光刻方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010253479.1
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2010-08-13
  • 申请人:
    无锡春辉科技有限公司
著录项信息
专利名称圆片的光刻方法
申请号CN201010253479.1申请日期2010-08-13
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2011-02-02公开/公告号CN101963764A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人无锡春辉科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市南湖大道789号C幢三楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡春辉科技有限公司当前权利人无锡春辉科技有限公司
发明人张春华;张馨月
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人许方
摘要
本发明公布了一种圆片的光刻方法,将圆片放入光刻机,光刻机的汞光灯强8~12mw/cm2、曝光时间3~6秒。本发明提高汞光灯的光强,大大降低了工作时间,提高了效率。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供