一种单晶炉用组合导流筒

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020246255.7
IPC分类号：C30B29/06;C30B15/00
申请日期：
2020-03-03
申请人：
湖南金创新材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种单晶炉用组合导流筒
申请号	CN202020246255.7	申请日期	2020-03-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	湖南金创新材料有限公司	申请人地址	湖南省长沙市长沙县果园镇果园大道328号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖南金创新材料有限公司	当前权利人	湖南金创新材料有限公司
发明人	陈超;刘进怀;殷勇;陈斌
代理机构	长沙国科天河知识产权代理有限公司	代理人	邱轶

摘要

本实用新型涉一种单晶炉用组合导流筒，包括相互配合的内筒和外筒，内筒呈锥形管状，套设于外筒内，内筒与外筒之间形成有空腔，空腔内填充有隔热内芯，内筒的大径端设有凸缘式的第一连接法兰，相应的，这一端的外筒也设有凸缘式的第二连接法兰，内筒和外筒通过两者连接法兰上的多个固定装置固定连接，空腔靠近第一连接法兰一端的空间小，远离第一连接法兰一端的空间大；本实用新型通过锥形管状内筒的抛光内壁的设计提高对硅棒接晶部分潜热的散发，从而提高晶体的生长速率，并配合组合式内筒外筒间空腔中的隔热内芯上薄下厚的设计，形成对热场纵向温度梯度的拉伸，进一步提高等径生长速度，降低等径生长时间，从而降低单晶硅棒生产的能耗。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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