一种清针高度差值的标定方法和探针台

发明专利有效专利

申请号：
CN202211345822.4
IPC分类号：G01R31/26;G01R3/00;G01B21/08
申请日期：
2022-10-31
申请人：
长春光华微电子设备工程中心有限公司

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著录项信息

专利名称	一种清针高度差值的标定方法和探针台
申请号	CN202211345822.4	申请日期	2022-10-31
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-29	公开/公告号	CN115407176A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;G;0;1;R;3;/;0;0;;;G;0;1;B;2;1;/;0;8查看分类表>
申请人	长春光华微电子设备工程中心有限公司	申请人地址	吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长春光华微电子设备工程中心有限公司	当前权利人	长春光华微电子设备工程中心有限公司
发明人	高跃红;王蕾;范占军;姜鑫;王纪彬;孙海波;李家奇;徐雨枫
代理机构	北京睿驰通程知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张文平

摘要

本申请提供了一种清针高度差值的标定方法和探针台。本申请在探针台中探针相机在更换后，一些原有恒定的高度差值和/或高度值会发生变化，但是，一旦探针相机安装好后，这些发生变化的高度差值和/或高度值便会恒定下来，直到下一次更换探针相机。本申请正是利用这种规律，在更换探针相机后一次性获得一些不再变化的高度差值和/或高度值，从而在以后的标定过程中，仅通过第一垂直运动机构测量的值便可标定清针高度差值，减少了第二垂直运动机构上不确定因素对标定清针高度差值的影响。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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