一种多晶硅片制绒装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020384499.1
IPC分类号：C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236
申请日期：
2020-03-24
申请人：
苏州晶瑞化学股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种多晶硅片制绒装置
申请号	CN202020384499.1	申请日期	2020-03-24
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕 C30B33/10 在溶液或熔体内〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;1;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;6查看分类表>
申请人	苏州晶瑞化学股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市吴中经济开发区河东工业园善丰路168号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	晶瑞电子材料股份有限公司	当前权利人	晶瑞电子材料股份有限公司
发明人	傅华;高小云;刘兵;金炳生
代理机构	苏州国诚专利代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅片制绒装置，包括容置有制绒液的制绒槽以及安装在制绒槽内用于承载并带动多晶硅片移动的若干移动辊，制绒槽的顶端开口，制绒槽的底端设置有多个进液管，制绒液通过多个进液管进入制绒槽内；制绒槽的两侧还设置有一对贯穿口，多晶硅片通过一对贯穿口穿过制绒槽；若干移动辊转动设置在制液槽内用于带动多晶硅片进行移动；单个移动辊上设置有用于承载多晶硅片的环形容置槽；制绒槽上设置有电加热管。本实用新型结构简单，制绒槽包括内壳体和外壳体，在内壳体和外壳体之间的间隙内设置有多个电加热管，通过加热的方式提高温度，尤其是在低温环境下，能够有效提高制绒效率，方便实用。

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