高灵敏度压力传感器封装

发明专利有效专利

申请号：
CN201911354468.X
IPC分类号：G01L13/02;G01L19/06
申请日期：
2019-12-25
申请人：
通用电气（GE）贝克休斯有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	高灵敏度压力传感器封装
申请号	CN201911354468.X	申请日期	2019-12-25
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-07-10	公开/公告号	CN111397794A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L13/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L13/00 测量两个或更多个流体压力差值的设备或仪表 G01L13/02 应用弹性形变构件或活塞为传感元件的	IPC分类号	G;0;1;L;1;3;/;0;2;;;G;0;1;L;1;9;/;0;6查看分类表>
申请人	通用电气（GE）贝克休斯有限责任公司	申请人地址	美国得克萨斯变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	通用电气（GE）贝克休斯有限责任公司	当前权利人	通用电气（GE）贝克休斯有限责任公司
发明人	拉塞尔·克拉多克;马丁·马歇尔
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	秦振

摘要

一种压力感测封装包括传感器室和环状室，所述环状室围绕所述传感器室延伸。主膜片将所述传感器室分成第一部分和第二部分，所述第一部分接收第一压力，所述第二部分包括相对于传感器轴线大致居中的压差传感器以及第一传递流体。所述第一传递流体将所述第一压力传递到第一压差传感器面。辅膜片将所述环状室分成第一部分和第二部分，所述第一部分接收第二压力，所述第二部分包括第二传递流体。所述第二压力经由所述辅膜片和所述第二传递流体传递到第二压力传感器面。所述主膜片和所述辅膜片沿着所述传感器轴线方向相对于彼此定位，使得除了所述第一压力和所述第二压力外的作用在所述压力传感器上的压力合计近似为零。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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