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测量装置和压印设备

实用新型有效专利
  • 申请号:
    CN201790001706.7
  • IPC分类号:G01N27/06G01N27/07G01N27/08G01N27/22G03F7/16
  • 申请日期:
    2017-05-15
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称测量装置和压印设备
申请号CN201790001706.7申请日期2017-05-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/06IPC分类号G01N27/06;G01N27/07;G01N27/08;G01N27/22;G03F7/16查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人麦克斯·迪兹;尼尔·莫里森
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国;赵静
摘要
公开了测量装置和压印设备。测量装置(100)适于测量像用于纳米压印光刻的光刻胶这样的待监控流体(200)的多个性质。测量装置(100)包括:流量电容器装置(101),具有流体入口及流体出口,流量电容器装置(101)被构造成使待监控流体(200)能从流体入口至流体出口而通过流量电容器装置;以及评估单元(300),电连接至流量电容器装置(101),评估单元(300)适于在流体通过期间测定流量电容器装置(101)的电容。

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