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抛光机

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03157784.9
  • IPC分类号:B24B39/06;H01L21/304
  • 申请日期:
    2003-08-29
  • 申请人:
    不二越机械工业株式会社
著录项信息
专利名称抛光机
申请号CN03157784.9申请日期2003-08-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-04-14公开/公告号CN1488470
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B39/06IPC分类号B;2;4;B;3;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人不二越机械工业株式会社申请人地址
日本长野县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人不二越机械工业株式会社当前权利人不二越机械工业株式会社
发明人守屋纪彦;神田智树;小林拓实;锻治仓惇
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人张民华
摘要
本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括:多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开,且诸工件重心所移动的距离是相等的。

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