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一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310233117.X
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2013-06-13
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第四十八研究所
著录项信息
专利名称一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置
申请号CN201310233117.X申请日期2013-06-13
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2013-10-02公开/公告号CN103334092A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所申请人地址
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第四十八研究所当前权利人中国电子科技集团公司第四十八研究所
发明人罗才旺;魏唯;陈特超;罗宏洋
代理机构长沙正奇专利事务所有限责任公司代理人马强;李发军
摘要
本发明公开了一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置,所述管道冷却式气体分布装置包括气体喷射板,该气体喷射板上方设有气体连接板,在气体连接板与气体喷射板之间设有气体分布板;在上述各结构板之间安装有冷却液管道,该冷却液管道是由单根管道折弯或多根管道拼焊制成。所述气体喷淋头上还设置有若干相互隔离的气体通道,如第一、第二前体气体通道和载气通道,所述气体通道与相应的气体接口连接,能够将相应的气体独立的送入反应室。本发明采用管式冷却降低了喷淋头的制造难度,且提高了喷淋头中冷却液管道的密封性能及密封可靠性。

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