涡流传感器

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专利名称	涡流传感器
申请号	CN200810134025.5	申请日期	2004-10-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2008-12-24	公开/公告号	CN101329157
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 7/004，G01B 7/12优先）〔6〕 G01B7/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	株式会社荏原制作所	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社荏原制作所	当前权利人	株式会社荏原制作所
发明人	多田光男;须藤康成
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	夏青

摘要

一种涡流传感器，包括：空心的传感器线圈，设置在具有多个区的基板附近，并被容纳在高导磁率材料的外壳中；信号源，被配置用于为该传感器线圈提供AC信号，以在该基板中产生涡流；检测电路，被配置用于获得关于在该基板的所述多个区中产生的涡流的信号数据；以及控制器，被配置用于基于该信号数据来检测工艺的结束点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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