飞秒激光干法刻蚀加工氮化镓的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011489533.2
IPC分类号：B23K26/362;H01L21/3065
申请日期：
2020-12-16
申请人：
湘潭大学

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著录项信息

专利名称	飞秒激光干法刻蚀加工氮化镓的方法
申请号	CN202011489533.2	申请日期	2020-12-16
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-30	公开/公告号	CN112719607A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/362 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕 B23K26/362 激光刻蚀〔2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;6;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人	湘潭大学	申请人地址	湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘街道27号湘潭大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湘潭大学	当前权利人	湘潭大学
发明人	欧艳;付斯倚;李圣;钱锦文;肖逸锋;吴靓;张明华
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种飞秒激光辅助干法刻蚀加工氮化镓的方法，该方法实现氮化镓材料微结构的制备。首先利用飞秒激光作用在氮化镓材料表面形成一个烧蚀弹坑，实现氮化镓材料局部区域改性；随后在氯气和三氯化硼混合气体的氛围中，采用感应耦合等离子体干法刻蚀的方法对飞秒激光加工后的氮化镓材料进行物理、化学刻蚀，由于飞秒激光辐照后使得氮化镓材料性质发生改变，导致感应耦合等离子体干法刻蚀对飞秒激光辐照后形成的改性区与未改性区的刻蚀速率不同，最终在飞秒激光改性区形成微结构。本发明提供了一种加工方式简单、低成本的方法加工氮化镓材料。

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