外观检验装置及其执行方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110449954.7
IPC分类号：G01N21/94;G01N21/898
申请日期：
2011-12-29
申请人：
百励科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	外观检验装置及其执行方法
申请号	CN201110449954.7	申请日期	2011-12-29
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-07-03	公开/公告号	CN103185729A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/94 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/94 研究污染，例如灰尘（G01N 21/85优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;4;;;G;0;1;N;2;1;/;8;9;8查看分类表>
申请人	百励科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾台北市松山区延吉街11号2F-1 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	百励科技股份有限公司	当前权利人	百励科技股份有限公司
发明人	郑竹岚
代理机构	上海翼胜专利商标事务所（普通合伙）	代理人	翟羽

摘要

本发明提供一种外观检验装置及其执行方法，所述外观检验装置包括数个取像单元、一光源、一同步单元、一影像分析判断单元、一马达以及一输送单元。取像单元分别撷取数个待测集成电路的表面影像。光源提供所需的光线。同步单元使撷取的表面影像同步传送至影像分析判断单元，影像分析判断单元根据撷取的表面影像判断待测集成电路是否有瑕疵。马达接收影像分析判断单元所传送的控制讯号，并根据所述控制讯号驱动所述输送单元移动。本发明使取像单元所撷取的表面影像同步传送至影像分析判断单元，借此缩短检测时间。

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