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模具及具有转印精细图形的基材的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580040754.9
  • IPC分类号:B29C33/40;B29C59/02;B29C33/42;H01L21/027
  • 申请日期:
    2005-11-28
  • 申请人:
    旭硝子株式会社
著录项信息
专利名称模具及具有转印精细图形的基材的制造方法
申请号CN200580040754.9申请日期2005-11-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-10-31公开/公告号CN101065226
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B29C33/40IPC分类号B;2;9;C;3;3;/;4;0;;;B;2;9;C;5;9;/;0;2;;;B;2;9;C;3;3;/;4;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人旭硝子株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旭硝子株式会社当前权利人旭硝子株式会社
发明人川口泰秀;坂根好彦;白川大祐
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人沙永生
摘要
本发明提供模具以及具有转印精细图形的基材的制造方法。作为用于将光固化性树脂成形的具有精细图形的模具,其特征在于,具备在形成下述中间层(A)的表面具有基于官能团(x)的化学键的透明基体、存在于该透明基体的表面和下述表面层(B)之间的中间层(A)、具有精细图形的下述表面层(B)。中间层(A):由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的具有与前述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(1)形成的层。表面层(B):由作为主链上具有含氟脂肪族环结构的含氟聚合物的实质上不具有前述反应性基团(y)的含氟聚合物(2)形成,于表面具有精细图形的层。

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