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医用CoCrMo合金表面制备高硬度类金刚石薄膜方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010555637.9
  • IPC分类号:C23C16/27
  • 申请日期:
    2010-11-24
  • 申请人:
    中国矿业大学
著录项信息
专利名称医用CoCrMo合金表面制备高硬度类金刚石薄膜方法
申请号CN201010555637.9申请日期2010-11-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2011-02-09公开/公告号CN101967626A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/27IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;2;7查看分类表>
申请人中国矿业大学申请人地址
江苏省徐州市三环南路中国矿业大学科技处 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国矿业大学当前权利人中国矿业大学
发明人孙彦敏;王庆良;沈涵;张绪平;张磊
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人唐惠芬
摘要
一种医用CoCrMo合金表面制备高硬度类金刚石薄膜方法,首先用H2(氢气)气对抛光清洗过的CoCrMo(钴铬钼)合金进行溅射清洗;利用常规射频等离子增强化学气相沉积以SiH4(硅烷)和H2(氢气)为气源,在CoCrMo合金表面沉积Si(硅)膜过渡层;而后采用常规射频等离子增强化学气相沉积以CH4(甲烷)和H2(氢气)为气源,在Si(硅)膜过渡层上制备出DLC膜。本发明制备的膜基之间呈锯齿状结合特征,表明膜基之间有良好的结合性能,克服了因结合性差造成界面承载能力弱的缺点;同时制备的DLC膜含有较高含量的sp3C键,可获得高硬度的DLC膜,有效提高了DLC膜的抗磨损性能。此外本发明具有工艺简单,成本低的优势,在生物材料的表面改性技术领域具有巨大的应用潜力。

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