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气体质量流量控制系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310750547.9
  • IPC分类号:G05D7/06;H02N2/18
  • 申请日期:
    2013-12-31
  • 申请人:
    北京七星华创电子股份有限公司
著录项信息
专利名称气体质量流量控制系统
申请号CN201310750547.9申请日期2013-12-31
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2014-04-16公开/公告号CN103728991A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G05D7/06IPC分类号G;0;5;D;7;/;0;6;;;H;0;2;N;2;/;1;8查看分类表>
申请人北京七星华创电子股份有限公司申请人地址
北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北方华创科技集团股份有限公司当前权利人北方华创科技集团股份有限公司
发明人杜井庆;李甲;胡蕾;牟昌华
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人吴世华;陈慧弘
摘要
本发明涉及一种气体质量流量控制系统,包括:气体质量流量控制器,其与一气体管路连接,用于计量或控制流经气体管路的气体质量或流量;能量捕获装置,用于捕获气体质量流量控制系统周围环境中的机械能量;以及,能量存储装置,其一端连接能量捕获装置,用于存储捕获的机械能量,其另一端与气体质量流量控制器连接,用于向气体质量流量控制器供电。其不需外部电源供电,简化了系统、有利于降低设备故障率;且节约了能源、低碳环保,便于在行业内推广应用。

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