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接合方法和接合装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200480000639.4
  • IPC分类号:H01L21/60
  • 申请日期:
    2004-06-29
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称接合方法和接合装置
申请号CN200480000639.4申请日期2004-06-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-11-16公开/公告号CN1698190
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/60IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;0查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人有贺刚;萩原顺一
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明涉及一种夹压接合第一被接合物和第二被接合物的接合方法。本发明的接合方法具备:第一工序,将所述第一被接合物和所述第二被接合物分别保持在第一保持部件及第二保持部件上,以使所述第一被接合物的接合面与所述第二被接合物的接合面相向;第二工序,在将所述第一被接合物和所述第二被接合物保持在所述第一保持部件及所述第二保持部件上的状态下,用处理液处理所述第一被接合物的所述接合面及所述第二被接合物的所述接合面;第三工序,由所述第一保持部件及所述第二保持部件夹压所述第一被接合物及所述第二被接合物,使所述接合面彼此紧贴接合。

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