保持平板印刷投射透镜下面的浸没流体的设备和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200480009702.0
IPC分类号：G03B27/32;G03B27/42;G03B27/58
申请日期：
2004-03-17
申请人：
株式会社尼康

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著录项信息

专利名称	保持平板印刷投射透镜下面的浸没流体的设备和方法
申请号	CN200480009702.0	申请日期	2004-03-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-07-18	公开/公告号	CN101002140
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03B27/32 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03B 摄影、放映或观看用的装置或设备；利用了光波以外其他波的类似技术的装置或设备；以及有关的附件（这些装置的光学部分入G02B；照相用的感光材料或加工方法入G03C；加工曝光后的照相材料的设备入G03D）〔4〕 G03B27/00 印片设备 G03B27/32 投影印制设备，例如，放大机、复制照相机	IPC分类号	G;0;3;B;2;7;/;3;2;;;G;0;3;B;2;7;/;4;2;;;G;0;3;B;2;7;/;5;8查看分类表>
申请人	株式会社尼康	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼康	当前权利人	株式会社尼康
发明人	M·宾纳德
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	王彦斌

摘要

本发明公开一种设备和方法，用于在更换平板印刷机(10)中工件(208)期间，将浸没流体(212)保持在邻接投射透镜(16)的间隙中。该设备和方法包括光学组件(16)和台组件(202)，前者作成为可以将图像投射到工件(208)上，后者包括工件座(204)，该工件座作成为可以支承邻接光学组件(16)的工件(208)。配置外围系统(26)，以便向台组件(202)上光学组件(16)和工件(208)之间形成的间隙输送浸没流体(212)，并从该间隙中除去该浸没流体(212)。在完成工件(208)曝光后，更换系统(216)取下工件(208)，并用第二工件替换该工件。配置浸没流体约束系统(214)，以便在取下第一工件(208)，并用第二工件代替时，可以将浸没流体(212)保持在该间隙中。

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