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一种曝光机用高通用度抓板装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201821759061.6
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2018-10-29
  • 申请人:
    江苏友迪激光科技有限公司
著录项信息
专利名称一种曝光机用高通用度抓板装置
申请号CN201821759061.6申请日期2018-10-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人江苏友迪激光科技有限公司申请人地址
江苏省徐州市丰县经济开发区高新技术产业园标准厂房5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏友迪激光科技有限公司当前权利人江苏友迪激光科技有限公司
发明人吴景舟
代理机构南京聚匠知识产权代理有限公司代理人孙乔乔
摘要
本实用新型公开了一种曝光机用高通用度抓板装置,涉及曝光机技术领域。本实用新型包括机体:机体一表面固定连接有若干侧板;若干侧板一表面均开设有滑槽;滑槽周侧面滑动连接有横梁;横梁一表面固定连接有液压气缸;液压气缸一端贯穿横梁并延伸至横梁外部;横梁一表面固定连接有若干导向杆;若干导向杆一端均固定连接有限位环;若干导向杆周侧面均固定连接有缓冲环;液压气缸一端固定连接有升降环。本实用新型通过导向杆、缓冲环、限位环、升降环和液压气缸的设计,使该曝光机抓板装置在抓板时能够精确导向,并且能够保证安装板升降时的垂直度,避免安装板因升降的垂直度不一对曝光效果造成影响。

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