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基板处理方法以及基板处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200710108846.7
IPC分类号：G03F7/42;H01L21/00;H01L21/3105
申请日期：
2007-06-05
申请人：
大日本网目版制造株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板处理方法以及基板处理装置
申请号	CN200710108846.7	申请日期	2007-06-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2007-12-12	公开/公告号	CN101086631
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/42 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/42 剥离或剥离剂〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;4;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;1;0;5查看分类表>
申请人	大日本网目版制造株式会社	申请人地址	日本京都府京都市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	斯克林集团公司	当前权利人	斯克林集团公司
发明人	桥诘彰夫
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	徐恕

摘要

本发明涉及一种基板处理方法以及基板处理装置，该基板处理方法用于从基板表面剥离并除去不再使用的抗蚀剂。在该基板处理方法中，向在基板保持装置上保持的基板的表面中央部供给抗蚀剂剥离液。另外，向在基板保持装置上保持的基板的表面周边部供给有机溶剂液体。

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