光路切换装置及集成多个测头的微纳米测量系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201510236070.1
IPC分类号：G01B11/00
申请日期：
2015-05-11
申请人：
上海交通大学

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著录项信息

专利名称	光路切换装置及集成多个测头的微纳米测量系统
申请号	CN201510236070.1	申请日期	2015-05-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-12-09	公开/公告号	CN105136024A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市闵行区东川路800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	吴俊杰;陈欣;丁国清
代理机构	上海光华专利事务所（普通合伙）	代理人	雷绍宁

摘要

本发明还公开了一种光路切换装置和一种集成多个测头的微纳米测量系统。所述测量系统包括光源模块、图像采集模块、多个测头模块、一个成像分光镜和所述光路切换装置；光路切换装置包括一个驱动机构、一个具有多个反射面的移动反射镜和多个固定反射镜。通过光路切换装置的驱动机构可以切换光线传输路径，进而切换进行工作的测头模块。本发明涉及的光路切换装置可应用于光学测量领域，方便地切换光路。本发明涉及的测量系统利用所述光路切换装置可以实现多个测头的集成。在多个测头模块中设置至少一个能实现微米级测量的光学显微干涉测头模块和至少一个能实现纳米级测量的原子力显微干涉测头模块，可以实现跨尺度测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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