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用于检测电子束的多层检测器和方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200680040009.9
  • IPC分类号:G01T1/18;H01J47/14
  • 申请日期:
    2006-10-10
  • 申请人:
    利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
著录项信息
专利名称用于检测电子束的多层检测器和方法
申请号CN200680040009.9申请日期2006-10-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2008-10-29公开/公告号CN101297219
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01T1/18IPC分类号G;0;1;T;1;/;1;8;;;H;0;1;J;4;7;/;1;4查看分类表>
申请人利乐拉瓦尔集团及财务有限公司申请人地址
瑞士普利 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人利乐拉瓦尔集团及财务有限公司当前权利人利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
发明人安德斯·克里斯蒂安松;拉尔斯·奥克·内斯隆德;汉斯·哈尔斯坦迪斯
代理机构上海胜康律师事务所代理人周文强;李献忠
摘要
披露了一种用于检测电子束(106)强度的检测器和方法,一种示例性的检测器包括多层复合结构(104),其具有导电芯(110)、形成在该导电芯(110)上的绝缘层(112)以及电连接到电压电位并形成在该绝缘层(112)上的外部导电层(114)。支撑件(116)配置为在该电子束发生器(102)和目标区域(108)之间,将该导电芯(110)设置为与电子束发生器(102)对准,并位于将由该电子束发生器(102)产生的电子束(106)的直接路径内。

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