沉积薄膜的装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210535035.6
IPC分类号：B05C5/00;H01L31/18
申请日期：
2012-12-12
申请人：
深圳先进技术研究院;香港中文大学

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著录项信息

专利名称	沉积薄膜的装置和方法
申请号	CN201210535035.6	申请日期	2012-12-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-03	公开/公告号	CN103008168A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C5/00 将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置（B05C 7/00，B05C 19/00优先）	IPC分类号	B;0;5;C;5;/;0;0;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	深圳先进技术研究院;香港中文大学	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳先进技术研究院,香港中文大学	当前权利人	深圳先进技术研究院,香港中文大学
发明人	李朝晖;宋秋明;张军;顾光一;肖旭东
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	刘诚;吴平

摘要

一种薄膜沉积装置，包括：沉积装置，包括上盖和衬底，所述上盖与所述衬底之间形成用于承装溶液的沉积室；加热系统，包括承载热液的热液承载装置和与所述热液承载装置相连的用于加热热液的加热装置，所述衬底固定在所述热液承载装置上，且所述热液承载装置内的热液与所述衬底的一个表面相接触；反应液供应装置，包括反应液承载装置和进料管，所述进料管的一端与所述反应液承载装置连通，另一端穿过所述上盖，用于将所述反应液承载装置中的反应液输送至所述衬底的另一个表面上。在上述薄膜沉积装置中，由于镀膜只在衬底的一面进行，而另一面保持清洁，防止污染，节省了反应液，提高了反应液的利用率。本发明还提供一种薄膜沉积的方法。

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