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自动清洁吸嘴的装置与方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510081050.8
IPC分类号：H01L21/50;H01L21/68;B25B11/00;B65G49/07
申请日期：
2005-06-28
申请人：
京元电子股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	自动清洁吸嘴的装置与方法
申请号	CN200510081050.8	申请日期	2005-06-28
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-01-03	公开/公告号	CN1889240
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/50 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕 H01L21/04 至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层〔2〕 H01L21/50 应用H01L 21/06至H01L 21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;5;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;B;2;5;B;1;1;/;0;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;7查看分类表>
申请人	京元电子股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京元电子股份有限公司	当前权利人	京元电子股份有限公司
发明人	林殿方;韩信辉
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	陈肖梅;文琦

摘要

本发明涉及一种自动清洁吸嘴的装置与方法，首先以吸嘴吸取晶粒，再将其置放于承盘内，由于重复多次执行这些步骤后，吸嘴口会因为接触晶粒表面频繁，而有尘污黏附，会造成晶粒损伤，故以此装置将吸嘴碰触清洁胶带的表面，通过此可以自动清洁吸嘴，避免晶粒受到污染。

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