一种制备周期极化畴反转晶体的装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811476904.6
IPC分类号：G02F1/355
申请日期：
2018-12-05
申请人：
浙江大学昆山创新中心

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专利名称	一种制备周期极化畴反转晶体的装置及方法
申请号	CN201811476904.6	申请日期	2018-12-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-22	公开/公告号	CN109375450A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/355 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/35 非线性光学〔2，5〕 G02F1/355 以所用材料为特征的〔7〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;3;5;5查看分类表>
申请人	浙江大学昆山创新中心	申请人地址	江苏省苏州市昆山市祖冲之南路1699号R1101 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学昆山创新中心	当前权利人	浙江大学昆山创新中心
发明人	孔剑;王丹丹
代理机构	南京纵横知识产权代理有限公司	代理人	董建林

摘要

本发明公开了一种制备周期极化畴反转晶体的装置，包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的两侧分别设置有两电极板，两电极板连接位于真空腔外的控制电路，控制电路控制两电极板之间产生高频低压电场，铁电晶体的上方设置有若干电晕线，电晕线连接位于真空腔外的气体源和高压电源。同时也公开了相应的方法。本发明在电晕放电提供外加电场的基础上引入高频低压电场的扰动，以实现铁电晶体‑C面上电荷的均匀分布，从而实现极化电场的均匀分布，极化电场分布均匀程度高，能够实现高良品率的批量生产，并且由于降低了极化电场对电晕线的依赖程度，可以有效降低生产的成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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