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硅片位置检测装置和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201280072827.2
IPC分类号：H01L21/68
申请日期：
2012-05-02
申请人：
盛美半导体设备（上海）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硅片位置检测装置和方法
申请号	CN201280072827.2	申请日期	2012-05-02
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-03-04	公开/公告号	CN104396003A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/68 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/68 用于定位、定向或对准的〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	盛美半导体设备（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	盛美半导体设备（上海）有限公司,盛美半导体设备(上海)股份有限公司	当前权利人	盛美半导体设备（上海）有限公司,盛美半导体设备(上海)股份有限公司
发明人	王坚;赵宇;黄玉峰;陈福发;王晖
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陆勍

摘要

公开了一种用于检测硅片在硅片夹上的位置的装置和方法。该装置包括：照相机(6)和图像处理器(100)，该图像处理器包括转换单元(101)、比较单元(103)和决定单元(104)。该方法包括以下步骤：获得硅片的边缘的图像并发送图像数据至图像处理器(S23)；将图像数据转换成若干图像像素并将图像像素与参考像素比较(S25’)，以及决定硅片在硅片夹上是否就位(S26)。

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