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一种封装模块翘曲变形及缺陷的在线监测方法和装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910985678.2
  • IPC分类号:G01B11/16;G01N21/88;G01N25/72
  • 申请日期:
    2019-10-17
  • 申请人:
    武汉大学
著录项信息
专利名称一种封装模块翘曲变形及缺陷的在线监测方法和装置
申请号CN201910985678.2申请日期2019-10-17
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-01-03公开/公告号CN110645902A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/16IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;1;6;;;G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;5;/;7;2查看分类表>
申请人武汉大学申请人地址
湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉大学当前权利人武汉大学
发明人刘胜;陈志文;王力成
代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人胡琦旖
摘要
本发明属于封装模块监测技术领域,公开了一种封装模块翘曲变形及缺陷的在线监测方法和装置,装置包括投影云纹模块、红外成像模块、监测分析模块;方法包括:通过投影云纹模块获得待测封装模块样品的第一翘曲信息;通过红外成像模块获得待测封装模块样品的第二翘曲信息;根据第一翘曲信息、第二翘曲信息获得监测结果信息。本发明解决了现有技术中无法对封装模块的翘曲变形及缺陷进行在线监测的问题,能够对实际工业生产过程中的电子器件的封装模块的失效情况进行在线监测。

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