一种酸液循环冷却装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201520617308.0
IPC分类号：C30B33/10
申请日期：
2015-08-17
申请人：
山东科芯电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种酸液循环冷却装置
申请号	CN201520617308.0	申请日期	2015-08-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕 C30B33/10 在溶液或熔体内〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;1;0查看分类表>
申请人	山东科芯电子有限公司	申请人地址	山东省济南市章丘明水经济开发区明埠路中段东面变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东科芯电子有限公司	当前权利人	山东科芯电子有限公司
发明人	郭城;吕明;赵海玲;郭英云;卢国香
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种酸液循环冷却装置，其制冷压缩机（1）与外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）循环连接，外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）位于存放酸液的槽体（2）内，所述存放酸液的槽体（2）上设有酸液出酸口（5）和酸液进酸口（4），酸液出酸口（5）通过PP材质酸液循环管道（8）与耐腐蚀PP循环泵（6）连接，耐腐蚀PP循环泵（6）通过PP材质酸液循环管道（8）与酸液进酸口（4）连接。升高的酸温通过冷热交换将热量带出液体，达到稳定酸温的效果；酸液不断循环，使酸液的浓度分布更均匀一致，达到浓度均匀的目的。酸温恒定、浓度一致，晶片与酸液的反应更加均匀，厚度去除误差小，腐蚀形状一致性好。

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