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驱动装置及扫描狭缝单元

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201420381081.X
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2014-07-10
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
著录项信息
专利名称驱动装置及扫描狭缝单元
申请号CN201420381081.X申请日期2014-07-10
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请人地址
北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人于溅波;何军
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本实用新型提供了一种驱动装置及扫描狭缝单元,通过支撑架上设置第一轴承,刀背上设置第二轴承,弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上,弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上,当马达驱动所述刀背运动时,弹簧将发生一定的伸缩运动,此时弹簧与支撑架以及刀背之间将发生一定的转动,该转动分别由转动性能比较好的第一轴承及第二轴承完成,由此能够避免弹簧与支撑架以及刀背(转动)摩擦,进而能够避免碎屑、颗粒的产生,提高了驱动装置的可靠性,保证了扫描狭缝的清洁,曝光的平整性。

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