一种基于单片机的晶圆导电类型测试仪

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320228924.8
IPC分类号：G01R31/26
申请日期：
2013-04-28
申请人：
哈尔滨理工大学

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著录项信息

专利名称	一种基于单片机的晶圆导电类型测试仪
申请号	CN201320228924.8	申请日期	2013-04-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	哈尔滨理工大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨理工大学	当前权利人	哈尔滨理工大学
发明人	曹伽牧;曹一江;李青;逄博;冯聚萌;兰兰;戴金良
代理机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所	代理人	张宏威

摘要

一种基于单片机的晶圆导电类型测试仪，本实用新型属于半导体材料导电类型测量领域。本实用新型解决了现有半导体材料导电类型测试设备无法测控热探针的温度及半导体材料掺杂浓度大小的问题，本实用新型包括控制电路单元、检测应用单元和检测显示与操作单元；控制电路单元利用单片机最小系统及外围控制电路对检测应用单元进行控制及检测，实现对冷探针温度的检测及热探针的温度控制与热电流的检测，检测显示与操作单元的数据显示屏、图像显示屏、键盘均嵌固在测试仪箱体的箱壁上，且与单片机最小系统及外围控制电路相连，实现数据与图像的显示，并能够通过键盘实现对热探针的温度的设定。本实用新型适用于半导体材料导电类型测量领域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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