冷等离子体表面处理设备及其处理工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN89107909.2
IPC分类号：--
申请日期：
1989-10-10
申请人：
福州大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	冷等离子体表面处理设备及其处理工艺
申请号	CN89107909.2	申请日期	1989-10-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1991-04-24	公开/公告号	CN1050885
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	福州大学	申请人地址	福建省福州市工业路西禅寺变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福州大学	当前权利人	福州大学
发明人	林立中
代理机构	福建省专利事务所	代理人	林捷华

摘要

本发明涉及一种利用冷等离子体对材料表面进行处理的设备及其处理工艺。其主要特点是采用直流辉光放电中较长的正柱区产生冷等离子体，并利用它对材料表面进行处理。真空室的两端各设一个电极。如真空室中需要传动装置，则真空室两端还设有支撑板，支撑板之间装有若干根转轴和一根主动传动轴。主动传动轴带动被处理材料通过放电区。本发明具有结构简单、造价低、易于大规模工业生产、无电磁污染和处理效果好等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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