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一种掩膜版的制作方法及彩膜基板的制作工艺

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010986668.3
  • IPC分类号:G02F1/1335;G02F1/1339;G03F7/00
  • 申请日期:
    2020-09-18
  • 申请人:
    信利(仁寿)高端显示科技有限公司
著录项信息
专利名称一种掩膜版的制作方法及彩膜基板的制作工艺
申请号CN202010986668.3申请日期2020-09-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-11-20公开/公告号CN111965887A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/1335IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;3;5;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;9;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人信利(仁寿)高端显示科技有限公司申请人地址
四川省眉山市仁寿县文林工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人信利(仁寿)高端显示科技有限公司当前权利人信利(仁寿)高端显示科技有限公司
发明人吴杰明;黎源;张峰;李岩
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明公开了一种掩膜版的制作方法及彩膜基板的制作工艺,包括以下步骤在第一透明衬底基板的一侧面制作透过率为5‑15%的第一光阻层用于彩膜基板的遮光层制作;蚀刻第一光阻层形成黑矩阵层以预留第一通孔,第一通孔对应彩膜基板中彩色色阻层的位置;先在黑矩阵层上开第一全透孔,再在黑矩阵层的外表面制作透过率为15%‑40%的第二光阻层,用于彩膜基板的主柱状隔垫物和辅柱状隔垫物的制作;在第二光阻层和黑矩阵层上开第二全透孔用于彩膜基板的主柱状隔垫物的制作,这样利用一道掩膜版就可以同时制作彩膜基板上的主柱状隔垫物、辅柱状隔垫物和遮光层,有效降低了掩膜版的生产成本和减少了一道产品制程成本。

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