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制造光子晶体和光学元件的方法和设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN00137034.0
  • IPC分类号:G02F1/01;G02F1/015
  • 申请日期:
    2000-09-22
  • 申请人:
    株式会社东芝
著录项信息
专利名称制造光子晶体和光学元件的方法和设备
申请号CN00137034.0申请日期2000-09-22
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2001-07-25公开/公告号CN1305118
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/01IPC分类号G;0;2;F;1;/;0;1;;;G;0;2;F;1;/;0;1;5查看分类表>
申请人株式会社东芝申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社东芝当前权利人株式会社东芝
发明人市村厚一;平冈俊郎
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人马浩
摘要
一种制造包括光子晶体的光学元件的方法和设备,所述方法包括:产生具有三维周期性结构的第一光场的步骤,其中光强度按照光波长数量级的第一周期在空间中变化,所述三维周期性结构具有点阵点,在点阵点中的光强度高于所述周围的光强度;将其折射率可由辐照光的强度或在光辐照后进行的预定处理而改变的光学介质,曝露于所述第一光场一个给定的周期的步骤;将该光学介质在第一光场中移动光波长数量级的微小距离的步骤;以及将该光学介质曝露于第二光场中,在该第二光场中,光强度按照光波长数量级的周期在空间中变化,以形成该光子晶体的三维点阵结构的第二部分的步骤。

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