用于快速扫描探针显微术的闭环控制器和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200880014968.2
IPC分类号：G01B11/00;G01B7/00;G01B21/00
申请日期：
2008-05-02
申请人：
威科仪器公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于快速扫描探针显微术的闭环控制器和方法
申请号	CN200880014968.2	申请日期	2008-05-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-05-19	公开/公告号	CN101711342A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;7;/;0;0;;;G;0;1;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	威科仪器公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	布鲁克纳米公司	当前权利人	布鲁克纳米公司
发明人	史建;苏全民;克雷格·普拉特;马骥
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	潘士霖;陈炜

摘要

一种操作度量器件的方法，包括：使用执行器(110)以扫描频率产生探针(14)与样本(22)之间的相对运动。该方法还包括：使用在检测到的运动中表现噪声的位置传感器(108)检测执行器的运动，并且使用反馈回路(104)和前馈算法(120)控制执行器(110)的位置。在该实施例中，控制步骤使得执行器位置中的噪声与在扫描带宽上的位置传感器所表现的噪声相比而被衰减。扫描频率可高达第一扫描器谐振频率的三分之一或大于300Hz。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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