振动陀螺传感器,复合传感器及制造振动传感器的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN97190292.5
IPC分类号：--
申请日期：
1997-03-28
申请人：
日本碍子株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	振动陀螺传感器,复合传感器及制造振动传感器的方法
申请号	CN97190292.5	申请日期	1997-03-28
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	1998-07-22	公开/公告号	CN1188538
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	日本碍子株式会社	申请人地址	日本爱知县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本碍子株式会社	当前权利人	日本碍子株式会社
发明人	武内幸久;滑川政彦;柴田和义;大西孝生
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	王以平

摘要

一种振动陀螺传感器构成如下。即,一个检测压电/电致伸缩元件12形成于一检测部分上,所述检测压电/电致伸缩元件12检测当振动器2被振动时,在垂直于振动器2的振动方向的方向上的位移。所述检测部分和振动器2及座基4一起由陶瓷的整体焙烧产品组成。所述检测部分由比振动器2薄得多,并且其主要表面沿振动方向伸展的第一板形部分6构成。所述压电/电致伸缩元件12根据薄膜形成方法以整体方式形成于所述第一板形部分6上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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