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抗蚀剂下层膜形成用组合物

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201380069317.4
  • IPC分类号:G03F7/11
  • 申请日期:
    2013-12-17
  • 申请人:
    日产化学工业株式会社
著录项信息
专利名称抗蚀剂下层膜形成用组合物
申请号CN201380069317.4申请日期2013-12-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-09-02公开/公告号CN104885010A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/11IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;1查看分类表>
申请人日产化学工业株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人日产化学工业株式会社当前权利人日产化学工业株式会社
发明人大桥智也;木村茂雄;绪方裕斗
代理机构北京市中咨律师事务所代理人黄媛;段承恩
摘要
本发明的课题是提供在以丙二醇单甲基醚作为主成分的溶剂中的溶解性优异的抗蚀剂下层膜形成用组合物。作为解决本发明课题的方法涉及一种抗蚀剂下层膜形成用组合物,其包含:具有下述式(1a)或式(1c)所示的结构单元、和下述式(1b)所示的结构单元的聚合物,以及含有超过50质量%的丙二醇单甲基醚的溶剂,上述式(1a)或式(1c)所示的结构单元与式(1b)所示的结构单元交替地排列(式(1a)和式(1b)中,Q表示亚苯基或亚萘基,m表示1或2,n各自独立地表示0或1。)。

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