一种利用铜铟镓硒合金旋转溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310100735.7
IPC分类号：H01L31/18;C23C14/34
申请日期：
2013-03-26
申请人：
无锡舒玛天科新能源技术有限公司

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专利名称	一种利用铜铟镓硒合金旋转溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法
申请号	CN201310100735.7	申请日期	2013-03-26
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-06-26	公开/公告号	CN103178162A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	无锡舒玛天科新能源技术有限公司	申请人地址	江苏省东台市城东新区经一路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏超品光电技术有限公司	当前权利人	江苏超品光电技术有限公司
发明人	徐从康
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本发明提供了一种利用铜铟镓硒合金旋转溅射靶材生产铜铟镓硒薄膜的方法，包括以下步骤：以铜铟镓硒合金旋转溅射靶材作为靶材在基底上溅射形成第一贫铜层；以铜铟镓硒合金旋转溅射靶材作为靶材在第一贫铜层上溅射形成富铜层；以铜铟镓硒合金旋转溅射靶材作为靶材在富铜层上溅射形成第二贫铜层，即得。该生产方法将共蒸镀三步工艺法和非真空内部吸收层连结结构法结合，不仅能够显著的提升原材料利用率、成本低，而且溅射工艺过程中沉积速率快，同时还将在铜铟镓硒吸收层中形成优化的镓梯度结构和纳米畴p-n结内吸收层连结结构IAJ，生产出的铜铟镓硒薄膜效率高、面积大、均匀度高。

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