硅片表面的氮化硅膜的清洗液及清除方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210365546.8
IPC分类号：B08B3/08;B08B3/02;C11D7/10;C11D7/08
申请日期：
2012-09-27
申请人：
英利能源（中国）有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	硅片表面的氮化硅膜的清洗液及清除方法
申请号	CN201210365546.8	申请日期	2012-09-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-02-13	公开/公告号	CN102921665A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/08 具有化学作用或溶解作用的液体（使用的物质，参见有关的类）	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;C;1;1;D;7;/;1;0;;;C;1;1;D;7;/;0;8查看分类表>
申请人	英利能源（中国）有限公司	申请人地址	河北省保定市朝阳北大街3399号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英利能源（中国）有限公司	当前权利人	英利能源（中国）有限公司
发明人	王振如
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	吴贵明;张永明

摘要

本发明公开了一种硅片表面的氮化硅膜的清洗液及清除方法。该方法包括以下步骤：采用清洗液清除硅片表面的氮化硅膜，其中清洗液含有质量比为1∶90～130的高锰酸钾和氢氟酸。应用本发明的技术方案，采用高锰酸钾和氢氟酸按照1∶90～130的质量比溶于水中配制成的清洗液对不合格的硅片(掉渣片或彩虹片)表面的氮化硅膜进行清洗，不仅可以去除表面的氮化硅膜，同时还能保证硅片的厚度，并且对硅片的腐蚀不受反应时间长短的影响。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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