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一种用于真空环境下的气体纯化装置及超高真空设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010449675.X
  • IPC分类号:B01D53/04;B01D53/00;B01D5/00
  • 申请日期:
    2020-05-25
  • 申请人:
    郑州大学
著录项信息
专利名称一种用于真空环境下的气体纯化装置及超高真空设备
申请号CN202010449675.X申请日期2020-05-25
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2020-08-28公开/公告号CN111589270A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/04IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;0;4;;;B;0;1;D;5;3;/;0;0;;;B;0;1;D;5;/;0;0查看分类表>
申请人郑州大学申请人地址
河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人郑州大学当前权利人郑州大学
发明人王璇;邱恒山;陆彬
代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司代理人张心龙
摘要
本发明涉及一种用于真空环境下的气体纯化装置及超高真空设备,气体纯化装置包括气体存储罐,气体存储罐通过第一连通管道与超高真空设备的真空腔体连通,第一连通管道上设置有第一阀门,气体存储罐上设置有进气口;气体存储罐通过第二连通管道连通有换热管,换热管外部设置有换热结构,第二连通管道上设置有第二阀门,换热管的出气口通过第三连通管道与气体存储罐连通,第三连通管道上设置有真空泵站,第三连通管道上于真空泵站的上、下游分别设置有第三阀门和第四阀门。能够将实验气体中凝固点低于被纯化气体的凝固点的杂质气体脱除,保证了后续多相催化反应的效果。

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