一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811214181.2
IPC分类号：G01B11/00
申请日期：
2018-10-18
申请人：
山东中衡光电科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法
申请号	CN201811214181.2	申请日期	2018-10-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-15	公开/公告号	CN109341526A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	山东中衡光电科技有限公司	申请人地址	山东省枣庄市枣庄高新区复元四路东侧枣庄科顺数码有限公司厂房第1幢309室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东中衡光电科技有限公司	当前权利人	山东中衡光电科技有限公司
发明人	程刚;黄玉福;徐庭钰;顾伟;郭锋;张来宾
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	周敏

摘要

一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，属于光学加工领域，包括，测量光学镜面的加工尺寸和光学镜面表面的气流值；将测量的加工尺寸和气流值输入误差处理系统，通过误差处理程序得出误差处理结果；将误差处理结果通过总线传输至光学镜面加工控制系统，镜面加工控制系统通过运动控制函数规划修正运动轨迹，并将修正后的数据发送给光学镜面加工执行机构，实现控制光学镜面加工执行机构完成镜面加工修正动作。本发明的光学镜面加工检测误差修正方法，克服了由于气流变化导致的光学镜面检测结果不准确的问题，提高了测量结果可靠性；与光学镜面加工执行机构的反馈控制能够自动调整加工过程，提高了光学镜面加工精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供