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压力测定器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110181429.1
  • IPC分类号:G01L1/22
  • 申请日期:
    2011-06-27
  • 申请人:
    株式会社山武
著录项信息
专利名称压力测定器
申请号CN201110181429.1申请日期2011-06-27
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2012-03-14公开/公告号CN102374912A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01L1/22IPC分类号G;0;1;L;1;/;2;2查看分类表>
申请人株式会社山武申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人阿自倍尔株式会社当前权利人阿自倍尔株式会社
发明人德田智久;住吉雄一朗
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人李伟;王轶
摘要
本发明提供一种能够准确测定压力的压力测定器。该压力测定器具备:承受压力的挠性膜(1);用于固定挠性膜(1)底面为圆形的凸部(12)的台座(2);以及与凸部(12)的圆形的底面接合的图1所示的固定部件(3)。挠性膜(1)可以由硅构成,将(100)面作为主面。此外,挠性膜(1)被配置成由设置有凹部(23)的硅基板(21)和设有凹部(24)的硅基板(22)所夹持。因此,挠性膜(1)隔着硅基板(22)被固定于台座(2)。

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