抛光设备及半导体器件的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00802085.X
IPC分类号：--
申请日期：
2000-03-14
申请人：
株式会社尼康

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法律信息

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著录项信息

专利名称	抛光设备及半导体器件的制造方法
申请号	CN00802085.X	申请日期	2000-03-14
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2001-11-14	公开/公告号	CN1322374
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社尼康	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼康	当前权利人	株式会社尼康
发明人	石川彰;千贺达也;宫地章;潮嘉次郎
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	王永刚

摘要

透明窗板(31)装配在制造于抛光垫(21)中的孔中。透明窗板(31)的上部与用作抛光垫(21)的抛光表面的上部之间存在距离a。抛光时，支撑晶片的抛光头借助于加压机构压到抛光垫上，抛光垫(21)和透明窗板(31)被压缩。然而，所说距离a在一基准值之上保持恒定。透明窗板(31)的上部从抛光体(21)的上部凹下，因此，在修整期间，透明窗板(31)的表面不会被划伤，所以可以延长抛光垫的寿命。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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