基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610796215.8
IPC分类号：G01N7/16
申请日期：
2016-08-31
申请人：
兰州空间技术物理研究所

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著录项信息

专利名称	基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法
申请号	CN201610796215.8	申请日期	2016-08-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-02-22	公开/公告号	CN106442214A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N7/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N7/00 通过测量气体或蒸气的压力或体积分析材料 G01N7/14 使材料发出气体或蒸气，例如水蒸气，并测量压力差或体积差 G01N7/16 将材料加热	IPC分类号	G;0;1;N;7;/;1;6查看分类表>
申请人	兰州空间技术物理研究所	申请人地址	甘肃省兰州市城关区渭源路97号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	兰州空间技术物理研究所	当前权利人	兰州空间技术物理研究所
发明人	李艳武;成永军;董猛;盛学民;陈联;李刚;黄宏;高洁
代理机构	北京理工大学专利中心	代理人	周蜜;仇蕾安

摘要

本发明涉及一种基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法，属于测量领域。所述装置中：高真空样品室、第一真空阀门、第一、二小孔、第一、二分子泵和干泵依次通过真空管路串联连接；热阴极电离规B或质谱计连接在第一、二小孔间的真空管路上；电阻真空规连接在第二小孔和第一分子泵间的真空管路上；第二真空阀门两端分别通过真空管路与第一真空阀门出口和第一分子泵入口相连；热阴极电离规A连接在第一、二真空阀门之间的真空管路上。通过采用所述装置间接测量待测气体压强，可有效解决热阴极电离规或质谱计对待测气体具有抽速，直接用于静态定容升压法测量材料放气率时存在显著误差的问题，提高测量精确度。

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