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抛光组合物以及使用该抛光组合物的抛光方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510113455.5
IPC分类号：C09K3/14;H01L21/304
申请日期：
2005-10-14
申请人：
福吉米株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	抛光组合物以及使用该抛光组合物的抛光方法
申请号	CN200510113455.5	申请日期	2005-10-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-04-19	公开/公告号	CN1760307
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09K3/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09K 不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用 C09K3/00 不包含在其他类目中的材料〔2〕 C09K3/14 防滑材料；研磨材料（含高分子物质的磨料或摩擦体或者成型磨料的制造入C08J 5/14）〔4〕	IPC分类号	C;0;9;K;3;/;1;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	福吉米株式会社	申请人地址	日本国爱知县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福吉米株式会社	当前权利人	福吉米株式会社
发明人	高见信一郎
代理机构	上海市华诚律师事务所	代理人	徐申民;董红曼

摘要

一种抛光组合物，其包含：研磨剂如胶态二氧化硅、选自咪唑和咪唑衍生物中的至少一种化合物、以及水。该抛光组合物优选进一步包含碱性化合物、水溶性聚合物、或螯合剂。该抛光组合物适用于抛光如半导体基板等物体的边缘。

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